超音波式流量センサー
超音波流量計
HLF800シリーズ
超音波を利用して、流体の流速を計測し、流速から流量を計算します。
流れの上流・下流にセンサを設置し、それぞれのセンサから正方向・逆方向に発信した時の超音波伝播時間差から流速を求め、流量に換算します。
○配管内に構造物がないため、圧力損失が最小の条件で流量計測が可能です。
○低流速から高流速までの広範囲を計測できます。
特長
・DSP（Digital Signal Processor)を搭載、独自の信号演算により、安定した計測を実現
・1台の変換器で異なるサイズの検出器を2台接続可能
変換器1台に2台までの検出器を接続可能なため、複数箇所の流量測定を行う装置では省スペースで、コストパフォーマンスに優れています。また、異なる流体の流量測定だけでなく、異なるサイズの検出器を接続することもできます。
・表示部にはVFD表示を採用
ディスプレイにVFD（ 蛍光表示管）を採用し、
視認性が優れています。【HLF820のみ】
・高温薬液の流量計測に対応
近年の多様化した薬液・流体温度に対応。接液部は全てNEW PFAを採用し、耐薬品性に優れています。また、自社開発の振動子により、検出器は200℃までの流体温度に対応しています。（Ｋタイプ）
※04タイプは180℃までとなります。
・脱着可能なケーブルを採用。配線作業が容易
検出部からの配線ケーブルが脱着可能であるため、装置への取り付けをしてからスムーズに配線が行えます。また、ケーブルの長さは5mと7mから選択可能です。
・RS-485通信によってPCでの遠隔監視が可能
RS-485通信を標準装備。管理ソフト（HLF800 Monitor）の利用で、パラメータ設定と計測データの読み出しがＰＣ上で行え、遠隔での流量監視が可能です。
主な用途
- 半導体プロセスの純水・超純水の流量測定
- 腐蝕性の高い薬液塗布などの各種薬液処理プロセスの流量管理
- CMP（Chemical Mechanical Polishing)スラリー液の流量測定
仕様
検出器
変換器
超音波流量計
FML-500
液体用の直管型超音波流量計です。
特長
- 接液部にNewPFAを採用しクリーン構造
- 流路がストレート型で余計な圧損がかからずメンテナンスも容易
- 表示器一体型の為、DC24V電源の結線のみで流量計測が可能
- 高粘度液体の測定が可能 ※詳細はお問い合わせください
仕様
超音波式流量センサー
超音波を利用して流体の流速を計測し、その流速から流量を計算するものです。
※2020年10月時点での情報となります。
仕様
※受注生産品です。納期はお問い合わせください。
※掲載品以外の仕様もご相談ください。
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