Product Introduction

製品紹介

超音波式流量センサー

超音波流量計
HLF800シリーズ

超音波を利用して、流体の流速を計測し、流速から流量を計算します。
流れの上流・下流にセンサを設置し、それぞれのセンサから正方向・逆方向に発信した時の超音波伝播時間差から流速を求め、流量に換算します。
○配管内に構造物がないため、圧力損失が最小の条件で流量計測が可能です。
○低流速から高流速までの広範囲を計測できます。

特長

・DSP(Digital Signal Processor)を搭載、独自の信号演算により、安定した計測を実現

・1台の変換器で異なるサイズの検出器を2台接続可能
変換器1台に2台までの検出器を接続可能なため、複数箇所の流量測定を行う装置では省スペースで、コストパフォーマンスに優れています。また、異なる流体の流量測定だけでなく、異なるサイズの検出器を接続することもできます。

・表示部にはVFD表示を採用
ディスプレイにVFD( 蛍光表示管)を採用し、
視認性が優れています。【HLF820のみ】

・高温薬液の流量計測に対応
近年の多様化した薬液・流体温度に対応。接液部は全てNEW PFAを採用し、耐薬品性に優れています。また、自社開発の振動子により、検出器は200℃までの流体温度に対応しています。(Kタイプ)
※04タイプは180℃までとなります。

・脱着可能なケーブルを採用。配線作業が容易
検出部からの配線ケーブルが脱着可能であるため、装置への取り付けをしてからスムーズに配線が行えます。また、ケーブルの長さは5mと7mから選択可能です。

・RS-485通信によってPCでの遠隔監視が可能
RS-485通信を標準装備。管理ソフト(HLF800 Monitor)の利用で、パラメータ設定と計測データの読み出しがPC上で行え、遠隔での流量監視が可能です。

主な用途

  • 半導体プロセスの純水・超純水の流量測定
  • 腐蝕性の高い薬液塗布などの各種薬液処理プロセスの流量管理
  • CMP(Chemical Mechanical Polishing)スラリー液の流量測定

仕様

検出器

変換器


超音波流量計
FML-500

液体用の直管型超音波流量計です。

特長

  • 接液部にNewPFAを採用しクリーン構造
  • 流路がストレート型で余計な圧損がかからずメンテナンスも容易
  • 表示器一体型の為、DC24V電源の結線のみで流量計測が可能
  • 高粘度液体の測定が可能 ※詳細はお問い合わせください

仕様


超音波式流量センサー

超音波を利用して流体の流速を計測し、その流速から流量を計算するものです。
 ※2020年10月時点での情報となります。

仕様

※受注生産品です。納期はお問い合わせください。
※掲載品以外の仕様もご相談ください。

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