脱気・給気モジュール
液体の脱気をコントロールする中空糸膜です
- 水、薬液、ジェットインク、界面活性剤など対応
- 優れた脱気性能で溶存ガス濃度ppbレベルの脱気が可能
- インラインでの脱気処理が可能
- 独自の内部構造によりコンパクト化、低圧力損失化を実現
脱気原理
脱気モジュールSEPAREL
EFシリーズ
特長
- 脱気用膜にPMP樹脂を搭載した、外部灌流方式の小型脱気モジュールです。
スキン層を有する脱気膜を用いることで凝集水の発生を低く抑えることができます。 - 中空糸膜の外側を無秩序に液体が流れる状態(乱流)になるため、溶存気体と脱気膜との接触頻度を増大させることができます。そのため、「内部灌流モジュール」に比べ脱気性能は高くなります。
- 対応流量(真空度2.7kPa時) ※型式によって対応範囲が異なります
(脱気率80%)6mL/min~1,000mL/min (脱気率50%)40mL/min~2,000mL/min - 耐圧:0.2MPa
用途
- 分析装置の純水を脱気し、分注精度を向上
- 純水からの脱泡・脱酸素・脱炭酸 ・界面活性剤・インクジェットインク・水系インクからの脱気・脱泡
- 超音波洗浄機用水の脱泡処理
脱気モジュールSEPAREL
PFシリーズ
特長
- 脱気用膜にPMP樹脂を搭載した、内部灌流方式の脱気モジュールです。
スキン層を有する脱気膜を用いることで凝集水の発生を低く抑えることができます。 - 中空糸膜の内側を液体が流れる「内部灌流モジュール」の為、目詰まりがしにくく、逆洗浄が可能。
- 推奨流量 ※型式によって対応範囲が異なります 0.6L/h~1,000L/h ・耐圧:0.3MPa
用途
- 分析装置の純水を脱気し、分注精度を向上
- 純水からの脱泡・脱酸素・脱炭酸
- 超音波洗浄機用水の脱泡処理 ・水系インクの脱気
薬液用脱気モジュール
接液材質には耐薬品性、耐熱性に優れたフッ素樹脂を用いており、中空糸膜には気体透過性の良いPTFEを採用しています。
非多孔質膜のため、液のバリア性に優れ、真空側への液の浸透がありません。そのため溶剤系液体の脱気にも適しています。
仕様
用途例
- 半導体や液晶製造工程で使用される薬液の脱気
現像液、レジスト液、リンス液、エッチング液、メッキ液、超純水液 - プリンター用インク液などの脱気
写真感光液、インク - 測定値への悪影響因子の除去
液中パーティクルカウンターにおける試料液の脱気
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