ダイアフラムバルブの構造（ダイアフラム弁）

電磁弁は、流路の開閉を行うバルブ部分と、それを動かす駆動部分とに分けることができます。ダイアフラムバルブ内部には、このふたつの部分を隔絶するための膜（ダイアフラム）があり、フッ素樹脂等でできたバルブ部分を流れる流体が、主として金属でできた駆動部分に流れ込むことを防いでいます。
これにより、駆動部分が流体に腐食されることを防止すると同時に、駆動部分から発生する金属粉等が流体に混入することも防ぎます。
こうした構造は、不純物を嫌う分析装置のサンプリング部分や医用機器、また金属を腐食させるような酸、化学薬品などのハンドリングに最適です。このような構造の弁を耐食弁と呼ぶこともあります。

2方電磁弁の内部構造

2方N.C.（通常時閉）の場合、電圧をコイルにかけることでプランジャーが押し上げられ、それに伴いダイアフラムが上に引っ張られます。それにより流路が開き、流体が流れることができます。

提供：高砂電気工業株式会社

3方電磁弁の内部構造

3方弁の場合は、中央に位置するCOM.からN.O.のポートへと流体が流れています。コイルに電圧をかけると、プランジャーが押し上げられ、N.O.側のダイアフラムが上に引っ張られ流路が閉じ、一方でN.C.側のダイアフラムも押し上げられることで流路が開きます。
それによって、N.O.ポートへの流体の流れがN.C.ポートへ切り替えられます。

提供：高砂電気工業株式会社

このような電磁駆動式ダイアフラムバルブを極力小型化することで、単に取付けスペースを減らすだけでなく、バルブ内部の流体残留量を減らし、またバルブ相互間や他のコンポーネンツとの配管の短縮に役立てています。これによりアプリケーションにおける流路内容積を最小化し、分析精度の工場や試薬/サンプル量の削減を可能にしています。