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プラグバルブは、流体が流れる流路を容易かつ確実に切り換えることが可能であり、 確かなノウハウと最新の技術を結集した高性能バルブです。
■用途
・半導体製造装置
・バイオケミカル
・理化学機械
・純水装置
・医療器械
・環境装置
■特徴
・接液部には、最も優れた耐腐食性を持つフッ素樹脂を使用しているので、強酸、強アルカリはもちろんのこと、有機溶剤やその他に幅広く使用できるもっとも安全性・信頼性の高い製品です。
・マニュアル操作タイプとエアーによる遠隔操作タイプがあります。
・流体の流れ方向は、センサーを使用することにより離れた場所からでも確認できます。
(オプション設定:エアー操作タイプのみ)
・外部からバルブ内を流れる流体の流れ方向を、流路表示で確認できます。(Gタイプのみ)
PTネジ・PTFEボディー
<仕様>
| 使用流体圧力 | 0~400kPa |
| 使用流体温度 | 5℃~80℃ |
| 使用環境温度 | 5℃~60℃ |
| 使用流体 | 気体・液体 |
| 接液部材質 | PTFE・パーフロOリング |
<型式>

継手出し・PTFEボディー

<仕様>
| 使用流体圧力 | 0~400kPa |
| 使用流体温度 | 5℃~80℃ |
| 使用環境温度 | 5℃~60℃ |
| 使用流体 | 気体・液体 |
| 接液部材質 | PTFE・パーフロOリング |
| 接続タイプ | フロウエル社20Aシリーズ継手出し |
<型式>

チューブ出し・PFAボディー

<仕様>
| 使用流体圧力 | 0~400kPa |
| 使用流体温度 | 5℃~80℃ |
| 使用環境温度 | 5℃~60℃ |
| 使用流体 | 気体・液体 |
| 接液部材質 | PFA・PTFE・パーフロOリング |
<型式>

PTネジ・PTFEボディー

<仕様>
| 使用流体圧力 | 0~350kPa |
| 使用流体温度 | 5℃~80℃ |
| 使用環境温度 | 5℃~60℃ |
| 使用流体 | 気体・液体 |
| 接液部材質 | PFA・PTFE・パーフロOリング |
| 操作エアー圧 | 400~500kPa(Max700kPa)(6Tのみ500kPa) |
| エアーオペレート部 | PPS |

チューブ出し・PFAボディー

<仕様>
| 使用流体圧力 | 0~350kPa |
| 使用流体温度 | 5℃~80℃ |
| 使用環境温度 | 5℃~60℃ |
| 使用流体 | 気体・液体 |
| 接液部材質 | PFA・PTFE・パーフロOリング |
| 操作エアー圧 | 400~500kPa(Max700kPa) |
| エアーオペレート部 | PPS |

(最終更新日:2006年5月10日 10:30)
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