圧力調節弁
圧力制御弁（プレッシャーレギュレーティングバルブ）は、流量コントロール制御において、フローにかかる圧力を一定状態にコントロールしたり、圧力を減じたりするためのバルブです。
圧力制御弁には減圧弁と背圧弁があり、減圧弁は供給側の変動する圧力に対し出口側の圧力を一定にするもので、一般に装置の初段に多く用いられます。
これに対し背圧弁は、一次側の圧力を一定にするようにガスを抜く一種の定量にがし弁です。
■プレッシャーレギュレーティングバルブ6600シリーズ
■プレッシャーレギュレーティングバルブ6610シリーズ
■ベローズプレッシャーバルブ5330シリーズ
■バックプレッシャーバルブ6800シリーズ
■大流量用バックプレッシャーバルブ68010シリーズ
プレッシャーレギュレーティングバルブ MODEL 6600 SERIES
軽量でコンパクトな再現性に優れた精密圧力調整弁です。
精度の高い圧力調整が確実に迅速に行えます。
バルブの内部はスーパークリーニングにより完全洗浄としておりますので高感度の分析機器、研究開発用として最適の製品です。
■特長
精度の高い制御特性
一次圧力変動、二次側負荷抵抗変動に対して、再現性±1%の高い制御性能を有しています。
パネル取付用に最適
流体入口・出口が、本器裏面に配置されており配管が容易であり、また軽量コンパクトですのでパネル軽装用に最適です。
ノンブリードタイプ
ノンブリードであり、また厳しいリーク試験を経ています
■用途
・ガスクロマトグラフに
・科学計測器に
・ガス混合装置に
■特別仕様
・設定圧力固定ロックナット
・標準仕様以外のジョイント
・OUT側フィルター圧入
■御購入について
・接続口ジョイント指定の場合、IN OUTジョイントのみの指定となります。ゲージポートは止め栓となります。
・OUT側フィルター圧入は特別仕様ですので御相談下さい。
・圧力ゲージポートとOUTポートは等価です。どちらをゲージポートにしてもOUTにしてもかまいません。
■標準仕様
| 一次側最大圧力 | 784KPa |
| 二次側制御圧力 | A型 9.8～294kPa B型 29.4～588kPa |
| 最低動作差圧 | 49KPa |
| 耐圧力 | 784KPa |
| 再現性 | 定格圧力に対し±1%以内 |
| 温度特性 | 定格圧力に対し±1%/10℃以内 |
| 耐温度 | A?ボディ 60℃ SUSボディ 120℃ |
| 流量定格 | 定格表参照 |
| 接続口 | Rc1/8 Rc1/4 |
| 流体接触部材質 | （A） A?、真鍮、NBR、ジュラコン （SS） SUS316、バイトンR、フッ素樹脂 |
プレッシャーレギュレーティングバルブ MODEL 6610
本器は、MODEL6600より低圧力側に精度を上げ、再現性がよく、確実、迅速に圧力調整できるものとして開発されました。
高感度の分析機器、研究開発用、半導体製造装置用として最適な製品です。
■特長
低圧力側での高精度制御特性
0.01～0.15MPaの設定条件で一次側圧力変動、二次側負荷抵抗変動に対して、再現性±1%以内の高い制御性能を有しています。
ノングリス仕様
接ガス部分はステンレス、バイトン、テフロン仕様で、グリス類を一切使用していませんので、ピュアな状態を要求される半導体分野等に最適です。
ロックナット付構造
一回設定した調圧位置をロックナットにて固定し、設定の変化を防止することができます。
ノンブリードタイプ
ノンブリードタイプであり、ガスが外部に漏れることがありませんので、安心してご使用いただけます。
■用途
・ガスクロマトグラフ
・高純度ガス制御に
・低圧制御用機器に
・半導体分野等
■標準仕様
| 流体 | 各種気体 |
| 一次側最大圧力 | 0.4MPa |
| 二次側制御圧力 | 0.01～0.15MPa |
| 最大流量 | 5L/MIN |
| 最低動作差圧 | 0.1MPa以上 |
| 流体接触部材質 | SUS316、バイトンR、テフロンR、SUS304、SUS303 |
| 耐圧力 | 0.8MPa |
| 再現性 | 定格圧力に対して±1%以内 |
| 最大使用様温度 | 50℃ |
| 接続口 | Rc1/8 |
ベローズプレッシャーバルブ MODEL 5330 SERIES
再現性・耐久性に優れたベローズ方式の膨張弁を分析機器用として開発した当社独自の精密圧力調整弁です。
ノンリリーフタイプ、ノングリス構造であり、使用ガスが大気に接触する事もなく、汚れもないことから、標準ガス、半導体分野など高純度の気体の圧力制御に不可欠の調整弁です。
■特長
ノングリス構造
接ガス部分は全てスーパークリーニングをほどこし、グリス類を一切使用しておりませんので、ピュアな状態を要求される標準ガス分析計、半導体分野等に最適です。
高精度
一次圧力変動による再現性、二次側負荷圧力抵抗変動による再現性は±１％以内の高い精度が得られます。
高安定
金属ベローズをはじめ、すべて金属製の部品で構成されておりますので、耐久性に優れ、長期の連続使用にも一定圧力が保持できる性能を有しています。
低差圧動作可能
一次側供給圧力と二次側設定圧力の差圧は20KPa差圧で制御できます。
ノンブリードタイプ
ノンブリードタイプであり、ガスが外部に漏れる事がありませんので、安心してご使用頂けます。
■用途
・ガス混合装置に
・高純度ガス制御に
・低圧制御に
■標準仕様
| 二次側圧力 設定範囲 |
5330A 9.8～294kPa 5330B 9.8～588kPa |
| 一次側最大圧力 | 784KPa |
| 耐圧力 | 784KPa |
| 再現性 | 定格圧力に対し±1%以内 |
| 耐衝撃性 | 定格圧力に対し±1%以内 |
| 温度特性 | 定格圧力に対し±1%/10℃以内 |
| 耐温度特性 | SUSボディ 120℃ |
| 接続口 | Rc1/8 Rc1/4 |
| 流体接触部材質 | SUS304、バイトンR、フッ素樹脂 |
バックプレッシャーバルブ MODEL 6800 SERIES
背圧制御弁は、バルブの前段の圧力を一定にするための一種の逃がしバルブで、大きなバッファをもったタンクの圧力制御、混合ガスの定流量の抜き取り等、一般の後段コントロール調圧弁ではやりにくかった操作を、簡単にしかも迅速に行うことができます。
新しい発想の圧力制御で、最近特に注目されております。
■特長
取付便利なパネルマウントタイプ
小型コンパクト設計
一次側圧力を高速調整できます
グリスレスのクリーンなバルブであり、ピュアな状態のガス制御ができます
■用途
タンク圧力の制御に
混合ガス定流量制御
■標準仕様
| 型式 | 6800A | 6800B | 6800AL | 6800BL |
| 設定圧力 | 9.8～294kPa | 9.8～588kPa | 9.8～294kPa | 9.8 ～ 588kPa |
| 最大排気流量 | 1L/MIN | 0.8L/MIN | 10L/MIN | 10L/MIN |
| 耐圧力 | 784kPa | 784kPa | 784kPa | 784kPa |
| 流体接触部材質 | （A）A?、真鍮、NBR (SS） SUS316、バイトンR | |||
| 接続口 | Rc1/8 Rc1/4 | |||
大流量用バックプレッシャーバルブ MODEL 6801 SERIES
背圧制御弁は、バルブの前段の圧力を一定にするための一種の逃がしバルブで、大きなバッファをもったタンクの圧力制御、混合ガスの定流量の抜き取り等、一般の後段コントロール調圧弁ではやりにくかった操作を、簡単にしかも迅速に行うことができます。
■特長
・取付便利なパネルマウントタイプ。
・一次側圧力を高速調整できます。
・グリスレスのクリーンなバルブであり、ピュアな状態のガス制御ができます。
■用途
・タンク圧力の制御に
・混合ガス定流量制御
■標準仕様
| 型式 | 6801A | 6801B |
| 設定圧力 | 0～294KPa | 0～588KPa |
| 最大排気流量 | 300L/MIN | |
| 耐圧力 | 定格圧力の±1%以内 | |
| 耐温度 | 70℃ | |
| 流体接触部材質 | SUS316、バイトンR、フッ素樹脂 | |
| 接続口 | Rc1/2 | |