マイクロガスフローメータ　MODEL 7100NL

チップセンサー搭載の7100NLは、小型化・高速応答・低消費電力・低電圧駆動を実現した流量センサーです。
小型化・バッテリー駆動が要求される可搬型ガス分析機器等、様々なガス計測・制御機器の流量監視用の組込み型流量センサーとして御使用いただけます。

■特長
・成膜技術とＭＥＭＳ技術によるセンサー小型化
・流量変化の高速検出
・低消費電力　約20mW
・単電源低電圧駆動　DC5V駆動
・可搬型ガス分析機器への搭載

■用途例
・必要な流量が流れているかの流量監視
・比例制御バルブと組み合わせて、供給流量制御
・インバーターポンプと組合わせて、供給流量制御
・気密性の要求される製品のリーク試験に

■標準仕様

スタンダード マスフローコントローラ　MODEL 3660 SERIES

MODEL3660シリーズは、コンパクト＆ローコストをメインテーマとしたマスフローコントローラです。
大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用機種として、数多くの実績を持ち、多彩な派生機種、オプションを用意しております。

■特長
・改良型定電流温度差検出方式の流量センサーを搭載し、高速応答を実現。
・安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用。
・ソレノイドアクチュエーターで高信頼性を確保。
・燃焼ガス制御用の低差圧仕様(LPオプション）。

■標準仕様

ローコストメタルシール マスフローコントローラ/メータ　MODEL 5400 SERIES

MODEL5400シリーズは、半導体プロセスガス制御に要求される溶接レス構造、メタルシール、精度≦１秒等の基本性能をクリアし、なおかつ画期的なコストダウンを実現したマスフローコントローラです。
同じボディ設計のマスフローメータMODEL5410シリーズもラインナップします。

■特長
・温度追従型電流差検出方式の流量センサー(特許出願中)を搭載し高精度、高速応答を実現。
・ソレノイド・ノーマリークローズバルブを採用。
・溶接レス構造、メタルシール化により低リーク。
・ダイヤフラムシートバルブの採用によりデットボリュームを低減。
・面間・ボディ寸法、配線取り合いは他社置き換えに対応した構成。

■標準仕様

表示器付ローコストマスフローメータ　MODEL 3810DS SERIES

MODEL3810DSは実績のあるローコストマスフローメータMODEL3810をベースに新たに開発された表示器一体型マスフローメータです。
駆動電源は、従来の±15VDC電源からDC24V単一電源に変更し利便性を向上させるとともに、表示器には警報接点を設け機能性も向上させています。
また、流量センサと精密ニードルバルブを一体化し低価格・省スペースで流量制御を実現したモデルもご用意いたしました。

■特長
・精密ニードルバルブ装着で微少流量制御・監視
・流量監視用アラーム2点出力
・小型軽量！コンパクト、マスフローメータ
・表示器付のため、DC24V電源の結線のみで使用可能
・マスフロー(質量流量)なので面倒な温度・圧力による流量補正計算不要で表示器の流量を直読できます。

■標準仕様

ローコスト マスフローセンサー　MODEL 3810S SERIES

MODEL3810Sシリーズは、上級機種のバイパスキャピラリ方式の質量流量センサーの基本構造を受け継ぎ、機器組込用を前提として徹底した合理化により誕生したローコストマスフローセンサーです。
従来フロート式(テーパー管)流量計の代替品として、多くのセットメーカーでの採用実績をもつコフロックのベストセラーです。

■特長
・ローコストながら定電流温度差検出方式の流量センサーとバイパ　スキャピラリ方式を採用した本格派。
・フロート式流量計にせまるコストを実現。
・0～5VDCのアナログ流量出力は計測記録、制御、警報等様々な応用が可能。
・マスフロー(質量流量)なので面倒な温度・圧力による流量補正計算は不要です。

■標準仕様

スタンダート　マスフローメータ　MODEL 3760 SERIES

MODEL3760シリーズは、MODEL3660シリーズをベースに開発されたコンパクト＆ローコストマスフローメータです。
大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用機種として開発されました。

■特長
・改良型定電流温度差検出方式の流量センサーを搭載し高速応答を実現。
・コンパクトボディで設置場所を選びません。
・DPM-100との組み合わせで警報出力(流量監視)。
・CR-500との組み合わせで流量積算(消費量管理)。

■標準仕様

ローコストデジタルマスフローメータ　MODEL D3810 SERIES

D3810シリーズは基本構造こそ従来品のMODEL3810を引継いでおりますが、新型センサを搭載し、内部にCPUを使用した全く新しいデジタルマスフローメータで低流量から大流量までのワイドレンジがこの1台でカバーできます。

■特長
・ローコストながらバイパスキャピラリ方式を採用した高精度マスフローメータ
・デジタル制御方式ならではのワイドレンジ仕様(100CC～50L)
・外形寸法はMODEL3810をひと回り小さくしたコンパクト設計

■標準仕様

各種デジタル周辺機器

リードアウトユニットはマスフローコントローラ、メータと接続することにより流量計測・制御に加え、流量積算・流量値警報出力などの機能をご利用いただける製品です。
RS通信機能を持ち、パソコンから通信制御することが可能な製品も取り揃えております。

リードアウトユニット　MODEL CR-700A
リードアウトユニットCR-700Aはマスフローコントローラ、マスフローメータ専用の高機能リードアウトユニットです。
流量の計測・制御に加え流量積算、警報出力といったマスフローのアプリケーションに対応した充実機能を装備しています。
また、RS232Cでの通信機能により、お手元のパソコンから手軽に通信制御が可能です。

■特長
・流量表示は見やすい4桁大型LED＋バーグラフ
・流量設定しやすい設定値（SV値）の独立表示
・RS232Cで簡単にお手元のパソコンと通信可能
・操作しやすいワンキーレイアウト
・コンバージョンファクター設定機能によるマルチガス対応が可能
・ゼロオフセット機能によるゼロ点の経時変化補正
・ＭＦＣ供給電圧：±15VDC（各200mA　MAX）
・駆動電源はAC100V

■標準仕様

リードアウトユニット　MODEL CR-500
リードアウトユニットＣＲ－５００はマスフローコントローラ、マスフローメータと接続することにより、流量計測、流量制御、積算流量演算、流量値警報出力などの多彩な機能をご利用いただける高機能リードアウトユニットです。ＲＳ４８５通信機能を持ち、複数台数の本ユニットをホストコンピュータから通信制御することができます。

■特長
・W:96×H:48サイズでパネルレイアウトに最適
・6桁積算流量表示、上下限アラーム出力等の多彩な機能を内蔵
・RS485通信によりパソコンからのマスフローの制御に対応
・アナログ／ディジタルどちらの信号でも外部からの遠隔制御が可能
・MFC供給電圧：±15VDC（各300mA　MAX）
・駆動電源はAC85～264Vでワールドワイド対応


■標準仕様

リードアウトユニット　MODEL CR-300
リードアウトユニットCR-300はマスフローコントローラ、マスフローメータとケーブル一本で接続することにより、流量の計測・制御といったマスフローの基本機能をお使いいただけるようになる便利なユニットです。

■特長
・W:72×H:72サイズで場所を選びません
・マスフローコントローラーのバルブ開閉機能装備
・外部制御端子を背面に装備し遠隔操作も可能
・ロックキーで誤操作防止
・MFC供給電圧：±15VDC（各250mA　MAX）
・駆動電源はAC100V


■標準仕様